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研究人员开发钽致动器和传感器

发布时间: 2021-11-11

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计算机磁盘驱动器、扫描探针和微引擎中广泛应用微机电系统(MEMS)热致动器。这些热致动器依赖于多晶硅,这种材料需要高温,并在制造过程中消耗大量的电力。卡内基梅隆大学工程学院的研究人员找到一种替代品,用钽制造微机电热致动器。这既降低了操作温度,也降低了驱动所需的能量消耗。研究结果发表在《自然微系统与纳米工程》上。

钽是一种稀有的难熔金属,常用于合金中以增加强度和耐久性。研究人员推断,钽热致动器与硅衬底相比,热膨胀系数较大,在相同的力和位移下,需要的功率比多晶硅少一半。钽致动器的工作电压比其他热致动器低,与互补金属氧化物半导体电路直接兼容。钽器件几乎可在室温下进行加工。  

  

  来源:科技部合作司


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